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張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先 (攝影者 ：楊文財 )
商業周刊
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摘要
未來半導體發展關卡在微影技術，全球專精此技術的不超過十人，林本堅是其中排名很前面的一位，他的一九三奈米浸潤式微影，改寫了全世界半導體的微影藍圖。
「就是這個光！」台積電微製像技術發展處資深處長林本堅，一生都在追求心目中最理想的光，他利用(光)波長的變化，不斷改寫半導體的歷史。
十一月初，台積電正式啟用全世界第一台一九三奈米「浸潤式微影技術」(Immersion Lithography)機台，正式跨入六十五奈米線寬世代的生產。這項技術的突破讓將台積電足以一口氣跳躍成長三個技術世代，也讓全世界半導體產業把這項技術列為今後六十五、四十五及三...
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