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財經 | 產業動態

ASML沒賣EUV給中芯 台廠優勢剩多久?

全球第5大晶圓代工廠中芯,可望獲得美國禁令部分鬆綁。 (來源:中芯國際)
撰文者:呂承哲/中時新聞網
中時新聞網 2021.03.09
摘要

1.中國晶圓代工龍頭中芯日前傳出獲得美方出貨許可,與艾司摩爾(ASML)購買半導體生產設備,有望恢復8吋晶圓產能。

2.中芯獲得ASML深紫外光(DUV)機台,再加上前台積電高層蔣尚義回鍋、中國免稅政策,就算要等到明年才會投產,但這已讓中國半導體自主化跨出很大一步。

3.半導體設備主管透露,中芯要達到台積電良率恐怕還有一大段距離,但其成熟製程貢獻營收最大,這與聯電高度重疊,短期來看,客戶重複下單、視情況抽單的問題更要謹慎。

大陸晶圓代工龍頭中芯國際日前傳出獲得美方出貨許可,可以與含有美國技術的半導體生產設備商業務往來,甚至連與荷商艾司摩爾(ASML)簽下12億美元合約,購買半導體生產設備,讓中芯國際8吋晶圓產能恢復正常運作獲得市場期待。不過,外媒揭露,其實這些美企目前都還沒拿到出貨許可,ASML也強調,這筆合約所提到的是深紫外光(DUV)機台,而非外界期待的極紫外光(EUV)曝光設備。

ASML沒賣EUV,中芯晶片復活恐衝擊聯電

中芯國際面對路透、ASML澄清,以及主要市場大幅回調等因素影響,中芯國際港股收跌1.40港元或5.21%、報在25.45港元,A股則是大跌3.18%、收在56.66元人民幣。

據《路透》上周報導指出,包括應材、科林等半導體生產設備供應商都有向美國政府提出出貨許可申請,但實際上,很多美企的出貨許可都還在審核,且速度非常緩慢,這與亞系外資報告內容所提到獲得美國出貨許可相差甚遠。

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中芯國際去年川普政府還沒下台前,遭到美國商務部列入實體清單,加上川普11月底提出的投資禁令,讓中芯國際被許多國際性的指數編製公司剔除成分股名單,讓中芯國際也失去了大陸以外的投資資金來源。報導指出,美國業界呼籲,由於中芯國際預估有與美企業務往來的商業價值有50億美元,這會使得美企利益受損。

就《路透》目前的報導來看,這些美企有少數已經能提供相關產品,加上《日經亞洲評論》先前報導,大陸正在大量收購市場上的二手半導體生產設備,加上中芯國際已經握有14奈米製程量產技術,北京當局也與中芯國際合作,在於北京興建12晶圓代工廠計畫動工,第1期將斥資320億元新台幣,目前政策也提供28奈米製程以上10年免稅優惠,讓中芯國際生產晶片無後顧之憂。

至於中芯國際副董事長蔣尚義當時被拉攏進入決策高層,主要就是期待能獲得生產先進製程至關重要的EUV機台,包括全球晶圓代工龍頭台積電與其競爭對手三星電子,都依靠EUV機台在7奈米以下製程獲得巨大進展,等同誰擁有EUV機台,就掌握先進技術發展的關鍵。對此,ASML解釋,目前與中芯國際簽訂的12億美元合約,半導體生產設備為DUV機台。

中芯國際公告,在2020年3月16日至2021年3月2日期間,與ASML簽訂批量採購協議,購買約12億美元半導體生產設備。由於與ASML的採購協議已經到期,該公司在今年2月1日重新簽訂契約,將原定於2018年1月1日至2020年12月31日期間,延長至2021年12月31日。

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台積電在生產第一代7奈米製程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光機,透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。業界人士指出,DUV機台透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線距,但要做到與EUV的13.5奈米波長等效,也就是達到台積電7奈米製程的良率與成本,恐怕還有一大段距離,但這已經是面對美國禁令下可以採取的手段,加上在前台積電高層蔣尚義、梁孟松等人重整中芯國際管理方式,中芯國際就算建廠進機可能還要等到明年才會投入產能,但這已經協助大陸半導體自主化跨出很大一步。

據《MoneyDJ》報導,半導體設備主管透露,中芯國際若想要在既有廠區擴產,從設備建置到驗證都需要9個月到1年,蓋新廠更要耗費2~3年,短期不太可能舒緩全球半導體需求緊繃局勢。但若從產品線來看,中芯國際的成熟製程貢獻營收最大,這與聯電高度重疊,不可忽視這個問題。但就短期來看,客戶重複下單(double booking),可能視情況抽單的問題更要謹慎。

至於有轉單受惠概念的旺宏、華邦電,今年情況來看營運不會受到影響,但以中期來看,中芯國際與兆易創新占全球約1成的Nor flash產能恢復,可能在未來1~2年的影響可以觀察。

*本文由中時新聞網授權,原文


責任編輯:謝佩如

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