張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先

未來半導體發展關卡在微影技術,全球專精此技術的不超過十人,林本堅是其中排名很前面的一位,他的一九三奈米浸潤式微影,改寫了全世界半導體的微影藍圖。

張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先 (攝影者.楊文財 )

「就是這個光!」台積電微製像技術發展處資深處長林本堅,一生都在追求心目中最理想的光,他利用(光)波長的變化,不斷改寫半導體的歷史。

十一月初,台積電正式啟用全世界第一台一九三奈米「浸潤式微影技術」(Immersion Lithography)機台,正式跨入六十五奈米線寬世代的生產。這項技術的突破讓將台積電足以一口氣跳躍成長三個技術世代,也讓全世界半導體產業把這項技術列為今後六十五、四十五及三十二奈米線寬製程的主流。也就是說,台積電在二○一二年前都將保有這項技術領先的位置。

十月初,美國《新聞週刊》才以「浸潤在水裡的晶片」為題,指出台積電利用浸潤式技術,晉升至一線晶片製造商行列,令台積電設計能力足夠和IBM及英特爾等半導體廠商並駕齊驅。美林證券亞太區半導體首席分析師何浩銘(Daniel Heyler)更表示,台積電走在晶片產業的最前線。

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