張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先

未來半導體發展關卡在微影技術,全球專精此技術的不超過十人,林本堅是其中排名很前面的一位,他的一九三奈米浸潤式微影,改寫了全世界半導體的微影藍圖。

「就是這個光!」台積電微製像技術發展處資深處長林本堅,一生都在追求心目中最理想的光,他利用(光)波長的變化,不斷改寫半導體的歷史。十一月初,台積電正式啟用全世界第一台一九三奈米「浸潤式微影技術」(Immersio…

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