張忠謀的愛將林本堅讓台積電在未來八年技術領先

「就是這個光！」台積電微製像技術發展處資深處長林本堅，一生都在追求心目中最理想的光，他利用(光)波長的變化，不斷改寫半導體的歷史。

十一月初，台積電正式啟用全世界第一台一九三奈米「浸潤式微影技術」(Immersion Lithography)機台，正式跨入六十五奈米線寬世代的生產。這項技術的突破讓將台積電足以一口氣跳躍成長三個技術世代，也讓全世界半導體產業把這項技術列為今後六十五、四十五及三十二奈米線寬製程的主流。也就是說，台積電在二○一二年前都將保有這項技術領先的位置。

十月初，美國《新聞週刊》才以「浸潤在水裡的晶片」為題，指出台積電利用浸潤式技術，晉升至一線晶片製造商行列，令台積電設計能力足夠和ＩＢＭ及英特爾等半導體廠商並駕齊驅。美林證券亞太區半導體首席分析師何浩銘(Daniel Heyler)更表示，台積電走在晶片產業的最前線。

去年七月，台積電董事長張忠謀為鼓勵創新，頒發「創新獎」給研發有功人員，排名第一的林本堅，因為這項讓台積電奈米技術三級跳的成就「拿了一大筆獎金」。獎金有多高？林本堅神秘地笑說無法透露，但已足以說明張忠謀對他的器重。

林本堅很小就展現對光學的興趣，十三歲母親將一台老式六Ｘ九相機送給他，他利用相機的成像原理，把它改成一台放大機，「我把父親的照片放上去，又弄一個玻璃片，畫了鬍子，兩張疊在一起，就合成出爸爸長鬍子的照片。」他呵呵笑出來，眼神閃出年少神采，口音裡流露出一股綿軟柔細的越南尾韻。

六Ｘ九相機 開啟光學少年的探索興趣

他出生於越南，在西貢附近的堤岸市長大，家境優渥。父親是當地英文中學校長，外祖父是船商，他在越南受過完整的華僑教育。高三那年，他獨立一人遠渡來台就讀新竹中學，隔年考上台大電機系。台大電機時代，林本堅特別著迷結合物理和數學的電磁波學，後來他到美國俄亥俄州立大學投入於當時新興雷射研究。到他攻讀博士，全像學(Holography，雷射光立體攝影術)當紅，他站在這股浪潮上，一頭栽入。全像學可以將三度空間裡每一點的資料錄下來，包括能完整保存光的繞射(diffraction)所有資訊，他以全像學完成博士論文。